致茂 7200光伏電池片與硅片自動化檢測可用來檢測硅晶圓長度、寬度、對角線、邊緣 夾角、導角尺寸以及導角角度等，同時也可以檢測表面瑕 疵。設計完善的軟體以及操作介面可供使用者設定不同的 檢測參數(shù)來達到檢測結(jié)果，同時也提供瑕疵顯示以及儲存 功能來留待日后進行MES/CIM的分析以及整合。提供高重復性的晶格尺寸檢測結(jié)果，Chroma在7202上頭使用了* 的光學設計來強化晶格特征。而當晶格尺寸可以被量化之后，分類好的硅晶圓 就可以套用于不同的生產(chǎn)工藝，拿來在不同的電池片生產(chǎn)線進行生產(chǎn)，藉以 提高電池片生產(chǎn)時候的平均轉(zhuǎn)換效率。
7202同時也可以檢測孔洞瑕疵。而孔洞瑕疵正是造成太陽能模組失效的 μ-crack或者嚴重local shunting的原因。

致茂 7200光伏電池片與硅片自動化檢測的特色：

• 可與不同自動化線體廠商進行整合
• 高擴充性的演算法編輯器，可以針對5”以及6”的單晶、多晶、類單晶等結(jié)構進行檢測
• 多樣化介面可與其他設備或者工廠管理系統(tǒng)(MES)做結(jié)合
• 可檢測鉆石線切割的硅晶圓
• 自動光源監(jiān)控以及校正設計